CKD喜開理PGM-H-60-4R屬于PGM系列工藝氣體用減壓閥，主打高密封性、高耐久與精準(zhǔn)流量控制特性，適配蝕刻、成膜等精密工藝場景。該型號通過金屬膜片與自由提升結(jié)構(gòu)設(shè)計，可實現(xiàn)穩(wěn)定壓力調(diào)節(jié)，同時防止流體流出，以下為其核心技術(shù)參數(shù)，全面覆蓋介質(zhì)適配、壓力溫度耐受、密封性能及結(jié)構(gòu)特性。
基礎(chǔ)型號與適配參數(shù)
型號編碼對應(yīng)核心配置：“PGM"為系列基礎(chǔ)標(biāo)識，“H"代表50L/min(ANR)流量系列，適配中流量工藝氣體傳輸需求；“60"對應(yīng)二次側(cè)設(shè)定壓力范圍0~0.42MPa，可滿足多數(shù)工藝氣體的壓力調(diào)節(jié)需求；“4R"代表1/4″JXR母接頭，采用標(biāo)準(zhǔn)化接口設(shè)計，便于與工藝管路適配。
適配流體涵蓋惰性氣體及各類工藝氣體，兼容聚醚多元醇（PAG）等常用工藝潤滑劑，可直接融入現(xiàn)有工藝氣體回路，無需額外改造管路或配套部件。產(chǎn)品經(jīng)電解研磨、超精密加工及清洗處理，接觸氣體部潔凈度達標(biāo)，適配對介質(zhì)潔凈度要求嚴(yán)苛的精密制程場景。
壓力性能參數(shù)
二次側(cè)設(shè)定壓力范圍為0~0.42MPa，支持根據(jù)工藝需求精準(zhǔn)調(diào)節(jié)輸出壓力，調(diào)節(jié)精度契合精密工藝對壓力穩(wěn)定性的要求，可減少壓力波動對工藝效果的影響。使用壓力為1.0MPa，耐壓力達1.5MPa，能應(yīng)對工藝氣體回路正常運行及壓力波動場景，為回路運行提供冗余保障。
壓力控制采用金屬膜片傳感結(jié)構(gòu)，膜片材質(zhì)為HASTELLOY?C-22，具備優(yōu)異的耐腐蝕性與壓力感知靈敏度，可快速響應(yīng)壓力變化并調(diào)整閥芯開度，維持輸出壓力穩(wěn)定。壓力遲滯表現(xiàn)良好，調(diào)節(jié)過程中壓力切換平滑，無明顯波動。
溫度耐受參數(shù)
流體溫度與環(huán)境溫度均支持-5~40℃區(qū)間穩(wěn)定運行，可應(yīng)對精密制程車間的溫度變化，密封性能與壓力調(diào)節(jié)精度不受明顯影響。保存環(huán)境溫度需控制在-5~60℃，避免溫濕度導(dǎo)致材質(zhì)老化，尤其需避開高溫高濕環(huán)境，防止密封件變質(zhì)影響性能。
溫度適應(yīng)性設(shè)計貼合工藝場景需求，核心部件材質(zhì)在耐受溫度范圍內(nèi)可保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性，金屬膜片與密封件無明顯熱脹冷縮變形，確保壓力調(diào)節(jié)性能穩(wěn)定。
密封與流量性能參數(shù)
密封性能優(yōu)異，閥座泄漏（He）控制在1.0×10??Pa·m3/s以下，外部泄漏（He）不超過2.8×10?12Pa·m3/s，有效抑制閥閉動作時的二次側(cè)泄漏，避免工藝氣體損耗與環(huán)境影響。閥座常規(guī)采用PFA材質(zhì)，具備良好的化學(xué)穩(wěn)定性，可適配多種工藝氣體，避免介質(zhì)與密封材料發(fā)生反應(yīng)。
流量性能對應(yīng)50L/min(ANR)流量系列，Cv值適配該流量等級需求，流路設(shè)計優(yōu)化，壓降控制在合理范圍，可滿足中流量工藝氣體的穩(wěn)定傳輸。流量特性隨一次側(cè)壓力變化平緩，建議在流量特性傾斜緩慢的范圍內(nèi)使用，保障流量穩(wěn)定性。
結(jié)構(gòu)與材質(zhì)參數(shù)
主體材質(zhì)采用SUS316L不銹鋼，具備優(yōu)異的耐腐蝕性，可抵御工藝氣體長期侵蝕，延長使用壽命。彈簧采用SUS316與Ni-Co合金組合，兼顧彈性性能與耐腐蝕性，確保閥芯復(fù)位順暢與壓力調(diào)節(jié)穩(wěn)定性。
接口為1/4″JXR母接頭，可與VCR接頭兼容，適配行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化配管需求，降低系統(tǒng)裝配與升級的適配成本。產(chǎn)品重量約0.5kg，結(jié)構(gòu)緊湊，適配單體配管安裝場景，可靈活集成于工藝氣體系統(tǒng)中。實測耐久性達300萬次以上，長期使用后仍能保持高控制性與高潔凈度。
參數(shù)核心特點
PGM-H-60-4R的技術(shù)參數(shù)精準(zhǔn)貼合中流量精密工藝氣體回路需求，通過穩(wěn)定的壓力調(diào)節(jié)、優(yōu)異的密封性能及耐腐材質(zhì)選型，適配蝕刻、成膜等嚴(yán)苛場景。標(biāo)準(zhǔn)化接口與緊湊結(jié)構(gòu)便于系統(tǒng)集成，高耐久性設(shè)計可降低長期使用成本，為工藝氣體系統(tǒng)提供精準(zhǔn)、可靠的壓力控制支撐。
