測量范圍：±2.5mm。
最大允許掃描探測誤差：MPETHP≤2.0μm（使用 CRYSTA-Apex S700/900 機型及 ?8×60mm 測針時）。
刻度分辨率：＜0.02μm。
彈簧剛度：約 1.8N/mm。
最大測針長度：水平及垂直方向均可支持至 500mm，部分應用場景下經特殊配置可搭載長達 1000mm 的測針。
最大測針質量：500g。
最大追蹤速度：采用已知幾何形狀掃描模式時可達 120mm/s。
適配長測針高精度測量：軸套式安裝，并運用數字柵尺、讀數頭技術及獨立光學測量原理，能直接測量整個機構的偏移情況，規(guī)避堆疊軸誤差，即使搭配 1000mm 的長測針或星形測針配置，也可保障高精度。
支持快速測針更換：借由 SCP80 測針交換端口與 SH80 測針架，可與模塊化更換架系統（MRS）對接實現測針自動交換，優(yōu)化生產效率。且測針重復定位精準，更換后常無需重新校準。
具備碰撞保護功能：可分離測針吸盤具備 XY 碰撞保護功能，同時 Z 向設有碰撞緊急停設置，可防止測頭因意外碰撞而損壞。
可借由 UCC2 SP80 插卡直接整合系統?；蚴褂美啄峤B PCI 計數卡（CC6）加細分盒裝置（IU80）組合，此外，也兼容與 IU80 適配的 OEM 定制接口卡等。
